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激光干涉儀是最常使用的加工中心檢測設(shè)備，它是精密長度測量和確立線位移精度的標(biāo)準(zhǔn)。
首先，新機(jī)床出廠前都要進(jìn)行定位精度和重復(fù)定位精度以及反向間隙的檢測，現(xiàn)在大多使用激光干涉儀進(jìn)行�！ �
其次，任何機(jī)床加工設(shè)備，在長時(shí)間的使用都會由于自身磨損或者其它一些原因造成加工超差的發(fā)生。立式加工中心也不列外，一般出現(xiàn)這種情況時(shí)，都要進(jìn)行機(jī)床精度檢測。機(jī)床使用一段時(shí)間后,由于絲杠的磨損和其它原因,精度會逐漸喪失,這時(shí)需要使用激光干涉儀進(jìn)行精度的再校準(zhǔn)�！ �
最后，激光干涉儀還可以進(jìn)行其它項(xiàng)目的檢測，例如直線度，垂直度，角度等。
采用激光干涉儀可以提供調(diào)整線位移位置的能力，以修正行程誤差也就是節(jié)距誤差。此外，許多新型的激光干涉儀能提供在兩個(gè)正交方向的直線度修正和坐標(biāo)正交性的修正。
誤差修正常常是基于三維網(wǎng)格方式，它們是加工中心有效空間的一組點(diǎn)位。對網(wǎng)格中的每一個(gè)特定的X、Y和Z的點(diǎn)，給出一個(gè)修正值。對每一個(gè)點(diǎn)，誤差綜合成一個(gè)修正值就需要建立誤差模型和進(jìn)行計(jì)算，通過激光干涉儀可以輕而易舉的進(jìn)行修正。
如果一個(gè)控制器不能補(bǔ)償立式加工中心的所有誤差并且單獨(dú)的線位移補(bǔ)償不能提供期望的結(jié)果，其修正仍然可以實(shí)現(xiàn)，只要變換由標(biāo)尺(編碼器)系統(tǒng)提供給控制器的信息即可。這需要使用第二個(gè)控制器來實(shí)現(xiàn)，第二個(gè)控制器將會變換提供給基于誤差模型分 析軟件的立式加工中心原來控制器的機(jī)床標(biāo)尺信息，不管怎樣所得到的結(jié)果是相同的。
用激光系統(tǒng)來評定加工中心可以作快速和綜合的分析，這些工作若用其它方法來做，將很耗費(fèi)時(shí)間且又不經(jīng)濟(jì)。用激光測試儀誤差模型軟件分析數(shù)據(jù)降低了處理過程的復(fù)雜性，并可不斷生產(chǎn)出合格工件。
